熱式質(zhì)量流量計(jì)基于熱擴(kuò)散原理，其典型的傳感器元件包括兩個鉑熱電阻。當(dāng)這兩個熱電阻放在流體中時(shí)，其中一個被加熱，另一個用來測量介質(zhì)的溫度。兩個熱電阻之間的溫差與工藝流量和工藝機(jī)理的性質(zhì)有關(guān)，根據(jù)測量方法的不同可分為恒溫差法和恒功率法。

熱式質(zhì)量流量計(jì)是一種氣體測量儀器，具有諸多優(yōu)點(diǎn)和寬量程比。大口徑可做成球閥插入式，便于后續(xù)拆卸、組裝和維護(hù)，有多種供電方式，如24v或220v，底部管道局部表頭顯示，高空管道分體表頭顯示，但并不適合所有場合。

1.熱式質(zhì)量流量計(jì)是根據(jù)熱擴(kuò)散原理設(shè)計(jì)的。流量計(jì)的探頭加熱溫度根據(jù)測量的介質(zhì)溫度確定。一般探頭加熱溫度比介質(zhì)溫度高50度。可以看出，流量計(jì)在正常測量時(shí)要求被測介質(zhì)溫度相對恒定，此時(shí)加熱電流與介質(zhì)流量成正比;

2.熱式質(zhì)量流量計(jì)可以測量幾乎所有的單一氣體介質(zhì)，但實(shí)際測量中需要測量的混合氣體很多。此時(shí)，當(dāng)選擇熱氣體質(zhì)量流量計(jì)時(shí)，對混合氣體成分有要求。所有氣體流量計(jì)校準(zhǔn)時(shí)，用空的作為被測介質(zhì)，搜索單一介質(zhì)即可得到標(biāo)準(zhǔn)換算系數(shù)。

3.壓力;不建議在高壓條件下使用熱氣體質(zhì)量流量計(jì)。熱測量重要的一點(diǎn)是介質(zhì)的熱容量。當(dāng)場中壓力過高時(shí)，介質(zhì)單位體積的載熱量非常大。在壓縮系數(shù)和反應(yīng)速率的雙重影響下，流量計(jì)的測量值會小于實(shí)際使用。

4.溫度高;測量高溫介質(zhì)意味著傳感器的溫度電阻較高，測量高溫介質(zhì)時(shí)整個電路的功耗增加。目前，熱式質(zhì)量流量計(jì)可以承受高達(dá)400度的高溫，能夠滿足大多數(shù)現(xiàn)場要求。但與孔板差壓流量計(jì)相比，耐高溫性能較差。